● 減少環境靜電對於產品造成ESD & Particles問題 ● 完整數位化控制提供遠端精密參數調整 ● 可搭配軟體提供遠端監測系統狀態 ● 完美電壓控制提供先進半導體製程環境要求之規格 ● 具有單晶矽針尖並提供可超越Class 1環境下使用