Critical Process Electrostatic Monitoring
靜電放電及磁場<EMI>監測裝置
Product code : DYEQ09-9960-7000
● 搭配軟體, 可做工作站上靜電放電(ESD event)的量測記錄與分析
● 根據ESD event及EMI 數據以及判別機台內電場的影響分析
● 具擴充性強,可接 particle counter/sensor及設備接地點之監控
● 可監控Close-loop 靜電風扇
