FOUP Cleaner/FOUP 清洗機
MYFC S500-SEMI AUTOMATIC
工業進階級半自動清洗機 MYFC S500 可洗淨各式物件, 如 FOUP, FOSB, SMIF, 或各種載具,零件以降低汙染及濕度,擁有業界最高效率,最小占地, 並配有純水加熱清洗/氮氣/CDA乾燥/IR乾燥功能的離心力式清洗機.
單雙開門設計(可客製)
機台內環境 Class 100
可同時放八個 FOUP/FOSB
客製化治具應付多樣洗物
可使用客供清潔劑清洗
機台尺寸W/L/H 1.5m x 1.5m x 2.6m
MYFC 1500-FULLY AUTOMATIC
先進的 MYFC 1500 全自動300 mm FOUP / FOSB 清洗機，以最高的產量和最小的佔地面積清洗物件以減少污染和降低濕度。首創的機器人自動自潔功能可保持最佳清潔環境，避免二次汙染。
六軸機械手臂
機台內環境 ISO Class 1
同時洗淨 Lid 及 Shell
機械手臂自潔功能
彈性 Loadport 設計
符合 SECS/GEM 標準
提供最佳洗烘及真空艙體
機台尺寸W/L/H : 3m x 3m x 3.45m
